潔凈廠房潔凈度,即是指潔凈室及潔凈區內,空氣中懸浮粒子的空氣潔凈度。當潔凈室(區)內的產品生產工藝要求控制微生物、化學污染物時,應根據工藝特點對各空氣潔凈度等級規定相應的微生物、化學污染物濃度限值。
按《潔凈廠房設計規范 GB50073-2013》標準,潔凈度的整數等級應按下表計算確定:
注:按不同的測量方法,各等級水平的濃度數據的有效數字不應超過3位。
各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應按下式計算:
以上公式中:Cn = 每立方米空間最大允許大于某粒徑顆粒物的數量濃度;
N = ISO潔凈度分級數;
D = 顆粒物尺度,單位為微米;
0.1 = 常數,單位為微米。
一般潔凈度可對應潔凈室的狀態:空態(已建成,但無設備和人員),靜態(設備已就位,但無人員),動態(設備和人員正常運作)。
隨著科學技術的發展,目前在一些高科技產品(芯片、半導體、液晶、CPU等)的潔凈廠房中,不僅要求控制潔凈室(區)內的微粒,還要求控制各類微生物、化學污染物等方面,愈發嚴格。